差压式密封器件检漏仪的研发背景及基本原理是怎么样的

　　据重庆气密性检漏仪厂家介绍，现在的密封电子元器件在制作完毕后，常用的检漏方法是示踪气体氮细检漏即氦质谱背压检漏，其程序是将元器件放进压力容器，用高压示踪气体氨气对元器件加压，氮气通过元器件上存在的漏孔被压入内腔，然后将压过氦气的元器件放入真空容器，采用氦质谱抽真空检漏法进行漏率测试。由于被检元器件内腔的容积不同、氦气加压时的压力不同、加压时间不同、以及加压完毕到正式检漏的等待时间不同，同样大小的一个漏孔，在检漏仪上所显示的漏率(测量漏率)值大小是不同的，并且显示值不是元器件的真正漏率，是一个过渡值。在元器件使用过程中规定的允许的漏率一般是指等效标准漏率L，而在真正检漏时，氦质谱背压检漏法测量出的元器件漏率是测量漏率R1，它不能直接判定元器件合格与否，应该将元器件允许的等效标准漏率L代入GJB128A-1997、GJB360A-1996、GJB548A-1996中的灵活法公式中，求出对应的R的极限值。用元器件实际测量的R与求出的极限值相比较，判定元器件合格与否。

　　氨质谱背压检漏受最大可检漏率的限制，也就是说漏率大到一定程度，这种方法就检测不到了。所以经氦质谱背压检漏的元器件还应作一次灵敏度比较低的辅助检漏(通常叫粗检漏)，以确定可能的两个等效标准漏率哪一个才是正确的结果。在粗检漏的方法中，经常使用的是氟油加压高温液体气泡检漏和酒精抽真空气泡检漏。这两种粗检漏的最小可检漏宰可以和氦质谱背压检漏的最大可检漏率相互衔接，元器件经过细检漏和粗检漏后，不易发生误判。

　　最近几年，国内外应用了一种新的元器件粗检漏方法，就是差压式密封器件检漏。这种方法不使用氟油、不加热，检测完毕不用清洗，检测速度快，精度也可以满足要求。差压式密封器件捡漏是通过测量被检件内腔压力随时间降低或升高，来检测被检件漏率大小的检漏方法。

　　差压式气密检漏仪的工作原理如下：(根据产品的要求，在差压十检漏中把粗检漏的范围又加以分割定义：分为小漏率检测和大漏率检测。)首先在小漏率检测环节中，大漏率用的阀门关闭，平衡闷控制被测物和基准物两端同时充气后关闭。如果被测物有泄漏，则被测物侧容器内的压力将逐渐下降，由差压传感器检测被测物和基准物两端的压力差岁时间的变化关系，便可计算出泄漏率。但是如果被测物的捅孔相对很大，泄漏很快时，在充气过程中漏入密封器件的气体就达到测试压力的话，平衡阀关闭后就不再会出现压力变化。不过此时充入两端的气体质量是不同的。因此在小泄漏检测结束后将大泄漏检测阀打开，对称地接入分压用的配窑容器。由于气体质量的不同，分压后将使两端产生一个压力差。根据这个压力差来计算出大漏率。此前我们对粗检漏差压式检漏仪的测试原理及检测方法曾做过介绍。

　　新闻来源：重庆新现